檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "indium".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="趙良君"
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本實驗使用離子束濺鍍法在玻璃基板上沉積氧化銦錫薄膜,利用改變基板溫 度及退火溫度來觀察薄膜特性的變化,分別使用室溫、100 及200℃來沉積薄膜。 在室溫下沉積未退火的ITO 薄膜呈現非晶結構,當薄…